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本实用新型涉及一种物料的传输搬运机构,包括沿x轴方向设置的支脚、沿x轴方向设置且两端设于所述支脚上的第一x轴模组、设于第一x轴模组上的z轴模组,以及设于第一x轴模组下方、并安装于支脚上的第二x轴模组;支脚包括沿z轴方向设置的竖向安装板,第一...该专利属于深圳市梦启半导体装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市梦启半导体装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种物料的传输搬运机构,包括沿x轴方向设置的支脚、沿x轴方向设置且两端设于所述支脚上的第一x轴模组、设于第一x轴模组上的z轴模组,以及设于第一x轴模组下方、并安装于支脚上的第二x轴模组;支脚包括沿z轴方向设置的竖向安装板,第一...