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金属/介质多层薄膜结构10.6μm红外波段的光极化分离器制造技术
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文档序号:3788081
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本发明涉及一种金属/介质多层薄膜结构10.6μm红外波段的光极化分离器。该光极化分离器由敷设在二氧化硅基底上的金属性的碳化硅薄膜和介质特性的二氧化硅薄膜交替构成。本发明的光极化分离器具有良好的极化消光系数,且具有结构简单,容易实现,便于安装...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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