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多节多波段紫外LED的制备方法及其紫外LED与应用技术
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文档序号：37879672
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本发明公开了一种多节多波段紫外LED的制备方法及其紫外LED与应用，涉及紫外发光二极管技术领域。在衬底上预通入金属铝源及V族反应物，固定温度下分解形成AlN缓冲层；提高生长温度，生长非掺的AlN层，并在此基础上生长一层N型AlwGa1
该专利属于马鞍山杰生半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过马鞍山杰生半导体有限公司授权不得商用。
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