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本申请涉及氧化物靶材生产技术领域，公开了一种氧化铝靶材及其制备方法，包括以下步骤：制备氧化铝粉末；将氧化铝粉末装入模具中压制成型，制得氧化铝坯体；将氧化铝坯体进行冷等静压处理，得到高密度氧化铝坯体；空气气氛下在常压烧结炉中，承烧板上铺一层烧...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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