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动态存储器及其制作方法、存储装置制造方法及图纸
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文档序号:37874027
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本申请提供一种动态存储器及其制作方法、存储装置,动态存储器包括衬底和层叠的设置在衬底上的多个存储阵列,存储阵列包括多个阵列排布的存储单元。存储单元包括晶体管、电容、字线和位线,字线位于晶体管的栅极处,字线沿垂直于衬底表面的方向延伸,多个层叠...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。
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