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本发明公开了一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法，属于气体输送柜安全防护领域。一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体，所述柜体的内部放置有气瓶，所述气瓶的顶部安装有启闭阀，所述柜体的内壁设置有用于锁紧气瓶的锁紧组件；本发明通过锁紧组件...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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