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本申请实施例提供了一种沟槽式肖特基二极管制备方法及沟槽式肖特基二极管，采用第一氧化硅层和掩蔽膜等多层膜结构作为沟槽掩蔽膜，在进行栅氧化过程中，采用硅局部氧化工艺，在氧化硅层和氮化硅层之间产生了一段厚氧化硅层，在后续多层掩蔽膜和第一氧化硅层刻...
该专利属于上海韦尔半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海韦尔半导体股份有限公司授权不得商用。

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