下载硅棒检测方法及检测设备的技术资料

文档序号:37867567

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本发明实施例提供一种硅棒检测方法及检测设备,所述硅棒检测方法包括在硅棒的外周轮廓上采集多个数据点,多个数据点沿硅棒的周向间隔布置;依次连接多个数据点以形成拟合曲线,将拟合曲线分成多个曲线段,并计算每个曲线段的斜率,若相邻两个曲线段满足|k<...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。

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