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本实用新型提供了一种晶圆夹持装置，包括承载台、圆形多孔吸盘、卡接柱和夹紧块；所述承载台的承载面中部设有承载晶圆的所述圆形多孔吸盘，所述承载面还设有环绕在所述圆形多孔吸盘周围的多个所述卡接柱和多个所述夹紧块，所述夹紧块设于所述承载台的凹槽内，...
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