温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在加热壳体内的加热装置，加热壳体上设置有进气口和出气口；还包括：一缠绕管，设置在加热壳体内，两端口分别连通进气口和出气口，缠绕管为采用石英制成的石...
该专利属于上海提牛科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海提牛科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。