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本发明提供一种高调谐灵敏度的915MHz微波等离子体化学气相沉积装置，包括：腔室上壁和腔室下壁，腔室下壁安装反应腔体；腔室上壁和腔室下壁之间设置金属腔壁，金属腔壁环绕布置于反应腔体外围，构成谐振腔；金属腔壁被配置为：环绕反应腔体收缩或扩张。...
该专利属于北方工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北方工业大学授权不得商用。

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