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光敏复合介质栅MOSFET探测器制造技术
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下载光敏复合介质栅MOSFET探测器的技术资料
文档序号:3786123
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光敏复合介质栅MOSFET探测器的设置方法,每个单元探测器的构成是:在基底P型半导体材料上方的两侧设有N型半导体区构成源极和漏极,基底正上方的分别设有二层绝缘介质材料和控制栅极,二层绝缘介质材料之间设有光电子存储层;与控制栅极接触的第二绝缘...
该专利属于南京大学;阎锋所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学;阎锋授权不得商用。
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