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一种基于非稳频光源的激光干涉仪制造技术
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文档序号:37858600
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本发明公开了一种基于非稳频光源的激光干涉仪,其特点是该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成,所述非稳频窄线宽激光器1经第一分束器分为两激光光源,一激光光源通过参考模块用于激光波长的频率检测,另一激光光源通过探测...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。
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