一种基于非稳频光源的激光干涉仪制造技术

本发明专利技术公开了一种基于非稳频光源的激光干涉仪，其特点是该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成，所述非稳频窄线宽激光器1经第一分束器分为两激光光源，一激光光源通过参考模块用于激光波长的频率检测，另一激光光源通过探测模块用于目标位移检测；所述参考模块测量获得的激光波长用于修正探测模块的测量结果，实现高精度位移检测。本发明专利技术与现有技术相比无需锁定激光频率，就能满足工业应用的前提下减小激光干涉仪的体积与成本，且激光干涉仪工作波长、器件的选取不再受到频率参考器件影响，令干涉仪的使用更为灵活、便捷，结构简单，稳定性高，进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。景。景。

【技术实现步骤摘要】
一种基于非稳频光源的激光干涉仪


[0001]本专利技术涉及激光干涉仪
，具体地说是一种基于非稳频光源的激光干涉仪。

技术介绍

[0002]干涉仪是一种利用干涉原理测量长度和长度微小变化的精密仪器，也是目前精度最高的精密测量手段，被广泛应用在位移检测、光学元件检测、光谱检测、深空探测等多个方面。随着科学技术和制造工艺的不断进步，人们对测量提出了更高的要求。激光干涉测量技术是精密测量中最高水准的典型代表，其测量精度可达纳米量级甚至更高，在精密加工、科学研究中均发挥出重要作用。
[0003]现有技术的激光干涉仪实现高精度测量的前提是需要频率稳定的激光光源，为获得频率稳定的光源，通常需要频率参考器件作为比对标准进行频率锁定，这不但增加了激光干涉仪的复杂程度和激光干涉仪尺寸，提高了研制成本，而且激光干涉仪在长期运转的过程中，光源容易受到环境影响，导致频率失锁，需重新锁定频率，激光干涉仪体积较大、稳定性差，大大限制了激光干涉仪在工业中的推广应用。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是针对现有技术的不足而提供的一种基于非本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于非稳频光源的激光干涉仪，其特征在于，该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成，所述参考模块包括：第二分束器、第一角反射器、第二角反射器、第一光学窗片和第一光电探测器；所述探测模块包括：第三分束器、第三角反射器、第四角反射器、第二光学窗片和第二光电探测器；所述非稳频窄线宽激光器出射的激光经第一分束器分为两束，一激光入射至参考模块用于激光波长的频率检测，另一激光入射至探测模块用于目标位移检测，入射至参考模块的激光经第二分束器分为两束，一激光经第一角反射器、第一光学窗片后透射穿过第二分束器，入射至第一光电探测器；另一激光经第二角反射器后由第二分束器反射，入射至第一光电探测器，到达第一光电探测器的两束光干涉后行成两路相正交干涉信号，并由第一光电探测器探测获得，用于激光波长的频率检测；入射至探测模块的激光经第三分束器分为两束，一激光经第三角反射器、第二光学窗片后由第三分束器反射，入射至第二光电探测器；另一激光由...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴光，庞程凯，李召辉，杨雷，黄海燕，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：