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本发明提供了一种氧过量铁磁性ZrO2薄膜的制备方法，将衬底置入磁控溅射设备中，开机抽真空，而后Ar离子轰击金属锆靶材进行预溅射；通入反应气体O2，对衬底进行ZrO2薄膜的溅射制备；将制备的ZrO2薄膜样品转入离子注入室，对ZrO2薄膜进行O...
该专利属于中建材玻璃新材料研究院集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中建材玻璃新材料研究院集团有限公司授权不得商用。

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