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本申请实施例提供一种光电传感器、化学机械抛光设备和物体检测方法。向待检测区域发射具有第一波长的第一不可见光与具有第二波长的第二不可见光，其中第一不可见光与第二不可见光在待检测物体上的反射率不同，根据第一不可见光的反射光生成第一受光信号和根据...
该专利属于欧姆龙（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙（上海）有限公司授权不得商用。

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