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本发明公开了一种平面型SiC MOSFET器件,包括:在两个相邻的沟道区之间的漂移区表面形成有抗JFET区;沟道区的二个以上的第一离子注入区设置为:注入峰值位置越深,注入峰值越大;注入峰值位置越浅,注入峰值越小;抗JFET区的一个以上的第二...该专利属于上海鼎阳通半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海鼎阳通半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种平面型SiC MOSFET器件,包括:在两个相邻的沟道区之间的漂移区表面形成有抗JFET区;沟道区的二个以上的第一离子注入区设置为:注入峰值位置越深,注入峰值越大;注入峰值位置越浅,注入峰值越小;抗JFET区的一个以上的第二...