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本发明公开了一种离子注入机的离子注入方法，包括步骤：1)在离子注入前，采用初始扫描电场控制束流在水平和垂直两个方向上进行扫描，并检测两个方向上的束流数据；2)根据两个方向上的束流数据得到对应方向上束斑位置与扫描电场值之间的关系和束斑宽度，进...
该专利属于北京烁科中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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