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本发明公开了一种基于布拉格光纤光栅的高分辨率悬臂式微力传感器。该传感器包括传感器基底、传感器尖端和敏感元件，传感器基底包括固定端和悬臂梁，其固定端开有通孔，与夹具相连用于固定传感器，传感器的悬臂梁悬空，且末端与样品接触产生力的作用。传感器尖...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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