下载一种用于UTG玻璃减薄工艺的反应控制系统及方法的技术资料

文档序号:37854800

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本发明公开了一种用于UTG玻璃减薄工艺的反应控制系统及方法,包括反应执行系统、对反应时间进行计时的计时模块、与计时模块和反应执行系统连接的控制器,控制器根据计时模块记录的反应时间,以预测UTG玻璃减薄厚度来反馈调整反应执行系统的系统参数;所...
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