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一种自组装单层膜表面制备BiFeO3薄膜图案化的方法技术
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下载一种自组装单层膜表面制备BiFeO3薄膜图案化的方法的技术资料
文档序号:3785364
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本发明公开了一种自组装单层膜表面制备BiFeO↓[3]薄膜图案化的方法,按照以下步骤:(1)制备洁净基片;(2)制备OTS-SAMs基体;(3)制备图案化SAMs;(4)制备前驱体溶液;(5)制备BiFeO↓[3]薄膜;(6)BiFeO↓[...
该专利属于陕西科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过陕西科技大学授权不得商用。
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