一种自组装单层膜表面制备BiFeO3薄膜图案化的方法技术

本发明专利技术公开了一种自组装单层膜表面制备ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜图案化的方法，按照以下步骤：（１）制备洁净基片；（２）制备ＯＴＳ－ＳＡＭｓ基体；（３）制备图案化ＳＡＭｓ；（４）制备前驱体溶液；（５）制备ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜；（６）ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜在６０℃低温环境下干燥，然后在３５０℃进行预处理１０ｍｉｎ以便络合物及有机物分解获得样品；最后将样品放于马弗炉中以３℃／ｍｉｎ速率升温，在４００－６２０℃的高温下保温２小时使ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜晶化。本发明专利技术的有益效果是所制备的ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜表面结构致密均一，在较低的煅烧温度下即可生成纯相的ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜，还可以根据不同的实际需要提供不同表面微结构的ＢｉＦｅＯ↓［３］图案化薄膜。制备工艺简单，制备过程也不会产生污染，是一种环境友好薄膜制备技术。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
自组装单层膜表面制备ＢｉＦｅＯ↓［３］薄膜图案化的方法，其特征在于，按照以下步骤：　（１）制备洁净基片；　（２）制备ＯＴＳ－ＳＡＭｓ基体：首先把ＯＴＳ和甲苯按体积分数比１∶９９的比例配制ＯＴＳ－甲苯溶液，将洁净基片浸入ＯＴＳ－甲 苯溶液中浸泡，浸泡后的基片用丙酮在超声波下清洗后并用氮气吹干，置于１２０℃下保温５－１０ｍｉｎ去掉残留杂质得到ＯＴＳ－ＳＡＭｓ基体；　（３）制备图案化ＳＡＭｓ：将ＯＴＳ－ＳＡＭｓ基体在光掩膜的覆盖下，在紫外光下照射１２０－２４０ｍｉｎ ，得到图案化ＳＡＭｓ；紫外光λ＝１８４．９ｎｍ；　（４）制备前驱体溶液：将Ｆｅ（ＮＯ↓［３］）↓［３］...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋亚玉，谈国强，
申请(专利权)人：陕西科技大学，
类型：发明
国别省市：87[]