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具有改善的触点的薄膜电阻器(TFR)制造技术
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文档序号:37851958
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本公开提供一种形成在集成电路器件中的薄膜电阻器(TFR)模块。该TFR模块包括连接在第一竖直延伸的TFR侧面触点与第二竖直延伸的TFR侧面触点之间的TFR元件。该TFR元件包括在该TFR侧面触点之间横向延伸的基部部分,以及从该基部部分的相对...
该专利属于微芯片技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过微芯片技术股份有限公司授权不得商用。
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