下载具有改善的触点的薄膜电阻器(TFR)的技术资料

文档序号:37851958

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本公开提供一种形成在集成电路器件中的薄膜电阻器(TFR)模块。该TFR模块包括连接在第一竖直延伸的TFR侧面触点与第二竖直延伸的TFR侧面触点之间的TFR元件。该TFR元件包括在该TFR侧面触点之间横向延伸的基部部分,以及从该基部部分的相对...
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