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本公开实施例提供了一种检测方法、装置及设备，涉及半导体技术领域，上述方法应用于半导体器件，该半导体器件的源极、漏极以及衬底均接地，栅极与预设的扫描电压源连接；上述方法包括：按照预设扫描参数，控制扫描电压源在栅极施加一扫描电压；在扫描电压从第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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