下载一种溅射镀膜装置的技术资料

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一种溅射镀膜装置,包括设置在真空腔体中的溅射靶、防护罩、两个固定挡板和两个活动挡片组;溅射靶包括两个圆柱形靶材,两个圆柱形靶材处于防护罩中,防护罩的前侧具有条形溅射口;两个固定挡板并排设置在条形溅射口的左右两侧,两个活动挡片组分别设置在相应...
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