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本发明提供了一种晶圆固定装置，涉及半导体制备的技术领域，晶圆固定装置包括：固定盘，固定盘的正面具有第一夹持部，固定盘上滑动连接有与第一夹持部相对的第二夹持部，第二夹持部能够朝向或者远离第一夹持部运动；第二夹持部包括基座和弹性体，弹性体的两端...
该专利属于天水天光半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天水天光半导体有限责任公司授权不得商用。

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