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在本发明的工件的清洗处理方法及系统中，上侧整流板的孔的直径比下侧整流板的孔的直径小。在本发明的工件的清洗处理方法中，根据下侧整流板的多个孔的面积的总和A(mm2)及上侧整流板的多个孔的面积的总和B(mm2)，确定清洗液的供给流量Q(L/mi...
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