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三维集成电路及其制备方法、电子设备技术
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文档序号:37849920
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一种三维集成电路及其制备方法、电子设备。所述三维集成电路,包括:第一芯片、至少一个第二芯片、第一基板、第一布线层、以及至少一个第一导体。第一芯片被键合在第一基板的第一表面上。第一基板上形成有第一空腔,第二芯片被收容于第一空腔内,并与第一芯片...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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