三维集成电路及其制备方法、电子设备技术

技术编号:37849920 阅读:18 留言:0更新日期:2023-06-14 22:37
一种三维集成电路及其制备方法、电子设备。所述三维集成电路,包括:第一芯片、至少一个第二芯片、第一基板、第一布线层、以及至少一个第一导体。第一芯片被键合在第一基板的第一表面上。第一基板上形成有第一空腔,第二芯片被收容于第一空腔内,并与第一芯片键合。第一布线层形成于第一基板的第二表面上,其中,第一基板的第一表面和第二表面相对设置。第一基板上还形成有贯穿其第一表面和第二表面的第一通孔,第一导体设置于第一通孔内。第一布线层通过第一导体与第一芯片耦接。层通过第一导体与第一芯片耦接。层通过第一导体与第一芯片耦接。层通过第一导体与第一芯片耦接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:赫然焦慧芳许俊豪
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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