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本发明公开一种电子束聚焦偏转系统及电子束光柱体，其电子束聚焦偏转系统包括：物镜，设置在电子束光柱体内的电子束射出路径上，用于形成精细电子束束斑，照射到样品上；磁偏转器，设置在电子束射出路径上，用于对电子束产生定位作用；静电偏转器，设置在电子...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。

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