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一种方法包含引导激光束照射衬底的区段以移除形成于所述区段上的层。从响应于所述照射激光束而从所述区段发射的光检测指示从所述层移除的层材料的至少光谱分量。基于检测到的光谱分量，控制或停止所述激光束照射所述区段。段。段。
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