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本发明公开了一种用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置，包括炉体、加热管、夹具和机械手，加热管设置在炉体内部，夹具用于固定晶圆，机械手连接夹具，加热管包括外层套管和管身，外层套管设置在管身的外部，并且管身的内部腔体与外层套管的腔体分隔开，夹具可...
该专利属于珠海光库科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海光库科技股份有限公司授权不得商用。

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