一种用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置，包括炉体、加热管、夹具和机械手，加热管设置在炉体内部，夹具用于固定晶圆，机械手连接夹具，加热管包括外层套管和管身，外层套管设置在管身的外部，并且管身的内部腔体与外层套管的腔体分隔开，夹具可活动地设置在所述管身的内部腔体中，外层套管的腔体内盛放质子交换物质，外层套管的腔体与管身的内部腔体之间还设置有液体转移机构，用于将熔化的所述质子交换物质转移至所述管身的内部腔体内。本发明专利技术解决了现有质子交换装置的一致性差、可生产性差或能耗高的问题。可生产性差或能耗高的问题。可生产性差或能耗高的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置


[0001]本专利技术涉及光波导芯片制造
，尤其涉及一种用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置。

技术介绍

[0002]由于铌酸锂晶体具有优异的电光、声光、光弹、非线性、光折变等性能，其在光通讯领域应用非常广泛，是光波导器件中最常使用的晶体材料，随着人们对波导制备的不断探索，目前，对铌酸锂波导的制备，常用的方法主要有钛扩散法和质子交换法等，研究表明，钛扩散法制备波导存在抗光折变性能较差，对光限制作用较弱。与成熟的钛扩散技术相比，质子交换技术不仅简单、快捷，而且用它制备的铌酸锂光波导具有传输损耗小、抗光折变能力强、异常光折射率增量大等优点。
[0003]质子交换炉是用质子交换法制备铌酸锂光波导的主要设备，它的主要用途是对铌酸锂晶圆进行掺杂，在高温条件下将铌酸锂晶圆浸入熔融的酸液中，使得氢离子进入铌酸锂晶格内。针对质子交互的各项要求，已有不少质子炉的相关专利如《质子交换炉》，专利号：CN210826447U；《一种质子交换炉及其使用方法》，专利号：CN109610005B；《一种新型质子交换反应炉及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置，包括炉体、加热管、夹具和机械手，所述加热管设置在所述炉体内部，所述夹具用于固定晶圆，所述机械手连接所述夹具用于将所述夹具移动至所述炉体内部或者将所述夹具从所述炉体内部取出，其特征在于，所述加热管包括外层套管和管身，所述外层套管设置在所述管身的外部，并且所述管身的内部腔体与所述外层套管的腔体分隔开，所述夹具可活动地设置在所述管身的内部腔体中，所述外层套管的腔体内盛放质子交换物质，所述外层套管的腔体与所述管身的内部腔体之间还设置有液体转移机构，用于将熔化的所述质子交换物质转移至所述管身的内部腔体内。2.根据权利要求1所述的用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置，其特征在于：所述液体转移机构包括设置在所述外层套管下端的连通管，所述连通管与所述管身的内部腔体连通，所述连通管的进口设置有能够封闭所述连通管的可活动堵塞。3.根据权利要求1所述的用于制作铌酸锂光波导的质子交换装置，其特征在于：所述外层套管的腔体可封闭，所述液体转移机构包括加压管和转移管，所述外层套管上设置所述加压管，所述转移管的一端连通至所述外层套管的腔体底部，另一端连通所述管身的内部腔体，通过所述加压管对所述外层套管的腔体加压使所述外层套管内...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡志刚，赵夏，吉贵军，周赤，刘昆，陆龙钊，黄杭东，
申请(专利权)人：珠海光库科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：