下载一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法的技术资料

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本发明属于电子元器件技术领域,提供了一种基于紫外光波段的氟化TiO2气体传感器及制备方法。该氟化TiO2气体传感器包括气敏材料和叉指电极板,气敏材料涂覆在叉指电极板表面述气敏材料成分为氟化二氧化钛空心微球材料。本方法生产工艺简单,所得气敏材...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

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