温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种涂敷设备、涂敷方法以及半导体处理系统，包括：承载组件，包括可旋转的承载台；壳体，为可升降结构，所述壳体包括顶部开口的涂敷腔，所述涂敷腔用于收容所述承载台；罩体，位于所述壳体上方；以及喷头组件，包括位于所述承载台上方的喷头；其...
该专利属于苏州镭明激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州镭明激光科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。