温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种磁控溅射镀膜设备及其控制方法，所述磁控溅射镀膜设备包括传送带、多个溅射位、多个溅射装置、多个检测组件以及控制装置，传送带用于传送调试片；溅射位沿所述传送带的传送方向依次间隔设置；溅射装置一对一地设置于所述溅射位，所述溅射装置...
该专利属于广东旗滨节能玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东旗滨节能玻璃有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。