下载一种半导体晶圆涂胶用匀胶机的技术资料

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本实用新型涉及晶圆生产技术领域,公开了一种半导体晶圆涂胶用匀胶机,包括底座,底座上设置有滴胶设备主体,所述底座上固定安装有气室,气室上转动安装有转动管,转动管贯穿气室侧壁且转动管远离气室的一端固定安装有顶板,顶板远离底座的表面固定安装有同心...
该专利属于苏州杉树园半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州杉树园半导体设备有限公司授权不得商用。

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