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本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种工件载台及工件承载方法。该工件载台包括旋转底座、承载组件以及抬升板，承载组件设置在旋转底座上，旋转底座上开设有第一吸附孔，第一吸附孔内能够形成负压，以使承载组件贴紧在旋转底座上；承载组件用于承载工件，...
该专利属于宁波芯丰精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波芯丰精密科技有限公司授权不得商用。

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