温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体镀膜喷淋头平面性调节器，喷头高度调节板穿过三个均布的带肩铰链销，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板上，喷头高度调节板上均布安装有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的测头顶在喷头轴密封垫板上，喷头轴密封垫板的...
该专利属于大连皓宇电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连皓宇电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。