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带压电膜基板及压电元件制造技术
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文档序号:37819024
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本发明提供一种带压电膜基板及压电元件,该带压电膜基板在基板上依次具备下部电极层及压电膜,其中,在将B设为钙钛矿型结构中的B位元素的情况下,压电膜包含:第1区域,包含由下述通式Pb
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该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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