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基于GST相变材料的双功能光学单元及器件制造技术
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文档序号:37817930
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本申请涉及一种基于GST相变材料的双功能光学单元及器件。该基于GST相变材料的双功能光学单元,包括依次层叠设置的金属基底层、中间介质层和功能材料层;功能材料层包括GST相变材料部和金属材料部,GST相变材料部和金属材料部均位于中间介质层的远...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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