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本发明公开了一种用于成膜装置的气体喷射装置，包括反应管，反应管的外侧壁沿长度方向设置有至少两个外管道，外管道上沿长度方向设置有若干贯通至反应管内部的第一喷射孔，第一喷射孔的孔径从反应管的内侧壁到外侧壁逐渐变小；外管道内设置有内管道，内管道用...
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