下载一种硅基OLED微显示器件切割方法的技术资料

文档序号:37810122

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本发明公开了一种硅基OLED微显示器件切割方法,其首先将晶圆与玻璃盖板在真空腔室中对位贴合再UV热固化;而后在晶圆背面贴上UV膜;之后选用砂轮切割,对玻璃盖板邦定区进行半切;另取UV膜粘贴在邦定区,揭下邦定区上的UV膜,带下其上粘附的玻璃碎...
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