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本发明公开了一种MAX相涂层的低温制备方法及其应用。所述低温制备方法包括:提供基体;以及,采用直流磁控溅射复合双靶高功率脉冲磁控溅射技术,在所述基体表面沉积形成MAX相涂层;其中,所述直流磁控溅射技术中采用的靶材为Al靶,所述双靶高功率脉冲...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种MAX相涂层的低温制备方法及其应用。所述低温制备方法包括:提供基体;以及,采用直流磁控溅射复合双靶高功率脉冲磁控溅射技术,在所述基体表面沉积形成MAX相涂层;其中,所述直流磁控溅射技术中采用的靶材为Al靶,所述双靶高功率脉冲...