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本发明提供的晶圆保持装置，包括卡盘、多个固定夹紧销、多个活动夹紧销和旋转轴，多个固定夹紧销固定设置在卡盘上，多个活动夹紧销活动设置在卡盘上，旋转轴配置为驱动卡盘转动；其中，多个固定夹紧销和多个活动夹紧销分布在以卡盘的中心为圆心的圆周上，且多...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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