下载栅极的制作方法及半导体器件的技术资料

文档序号:37808868

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种栅极的制作方法及半导体器件,所述制作方法包括:提供一衬底,所述衬底上形成有鳍部、伪栅极以及位于所述伪栅极上的第一截止层;形成层间介质层,所述层间介质层填满所述伪栅极之间的间隙并覆盖所述衬底;进行平坦化至暴露出所述第一截止层;...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。