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一种真空锁系统、半导体处理设备和基片传输方法，半导体处理设备包含多个连接至真空传输腔的处理腔，真空传输腔通过至少一个真空锁系统连接至前端模块，真空锁系统包含多级真空锁和多级过渡腔，相邻的两个真空锁通过一个过渡腔连接，通过在前端模块所处的大气...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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