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本实用新型涉及一种晶圆清洗装置，包括作业平台；晶圆夹具，可旋转地设置在作业平台上。其中，晶圆夹具包括用于放置待清洗晶圆的承盘和若干用于锁定晶圆的锁定夹扣；锁定夹扣的第一端部与承盘铰接，与第一端部相对的第二端部用于与晶圆的上表面抵接；第二端部...
该专利属于广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院授权不得商用。

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