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本发明公开了一种具有辅助震荡混合结构的晶圆电镀装置，包括基座和固定架，所述基座顶部设置有循环箱，且循环箱的顶部设置有电镀池，所述电镀池的上方设置有承载板，且承载板通过立柱与基座连接，所述循环箱的顶部通过循环管道与电镀池的底部连接，且电镀池设...
该专利属于广西华芯振邦半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西华芯振邦半导体有限公司授权不得商用。

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