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本实用新型公开了一种用于PVD真空镀膜机的离化源,包括引弧组件、安装座、靶材,靶材设于安装座的一侧,引弧组件穿过安装座,安装座的另一侧设有强力磁铁组件,强力磁铁组件包括外强力磁铁组件和内强力磁铁组件,外强力磁铁组件包括磁钢挡板和若干第一强力...该专利属于上海百雅信息科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海百雅信息科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于PVD真空镀膜机的离化源,包括引弧组件、安装座、靶材,靶材设于安装座的一侧,引弧组件穿过安装座,安装座的另一侧设有强力磁铁组件,强力磁铁组件包括外强力磁铁组件和内强力磁铁组件,外强力磁铁组件包括磁钢挡板和若干第一强力...